КОНТАКТЫ

129090, Россия, г. Москва,
ул. Гиляровского, д. 4/5

+7 (495) 795-05-55 
+7 (495) 795-05-56 
+7 (495) 795-05-57 
+7 (495) 608-63-25 (факс)

sales@datis-group.com
service@datis-group.com

 

НОВОСТИ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ

24.11.2014
18.09.2014

  

НОВОСТИ КОМПАНИИ

30.04.2017
27.04.2016
25.02.2015

  

PVD 500

PVD 500

Установка вакуумного напыления Kurt J. Lesker PVD500 фактически представляет собой установку PVD75 с вакуумной камерой увеличенного объема. Вакуумная камера позволяет размещать источники большой емкости и мощности для реализации процессов пилотного производства.

Основное применения установки — электронно-лучевое напыление и магнетронное распыление на большие партии пластин. В установке можно реализовать большое и изменяемое расстояние источник-подложка, а также куполообразный держатель для электронно-лучевого напыления (процесс «lift-off»).

Управление установкой осуществляется при помощи ПК с «тач-скрин» дисплеем. Установка работает как в полностью ручном, так и в автоматическом режиме по рецептам. В автоматическом режиме выполнение программы происходит по нажатию одной кнопки. Система настраивается таким образом, что стандартный процесс инициируется кнопкой старт сразу после закрытия камеры: откачка, очистка, напыления и напуск происходят автоматически по заранее заложенной программе.