КОНТАКТЫ

129090, Россия, г. Москва,
ул. Гиляровского, д. 4/5

+7 (495) 795-05-55 
+7 (495) 795-05-56 
+7 (495) 795-05-57 
+7 (495) 608-63-25 (факс)

sales@datis-group.com
service@datis-group.com

 

НОВОСТИ ПРОИЗВОДИТЕЛЕЙ

24.11.2014
18.09.2014

  

НОВОСТИ КОМПАНИИ

30.04.2017
27.04.2016
25.02.2015

  

EVG 620

EVG 620

Установки серии EVG 620 - это установки прецизионного двухстороннего совмещения и экспонирования для подложек диаметром до 150 мм. Кроме стандартной литографии с верхней и нижней сторон и возможности прецизионного совмещения пластин для их скрепления, установки серии EVG620 могут применяться в области нанотехнологий, например, для переноса рисунка со штампа на подложку для микроконтактной печати и литографии для получения нанооттисков. Оба этих процесса могут использовать прецизионные микроскопы установки EVG620 для оптического совмещения оттисков. Прецизионные системы совмещения EVG620 приспособлены для создания оттисков с штампами и подложками с размерами от маленьких кристаллов до диаметров 150 мм.